Полупроводниковата промишленост е-най-високата област на приложение на графитни материали, а полупроводниковият-графит с ултра-висока-чистота е известен като „чистия носител на производството на чипове“. За разлика от фотоволтаичните, металургичните и аерокосмическите графитни продукти, полупроводниковите графитни компоненти се стремят към изключителна чистота, ултра-чистота и ултра-висока стабилност на размерите и всяка следа от примеси, замърсяване с малки частици или отклонение в размерите ще доведат до бракуване на пластини и неизправност на чипа. С бързото разрастване на глобалните 300 mm и 450 mm фабрики за пластини и итеративното надграждане на SiC и GaN широко{10}}забранена полупроводникова технология, пазарното търсене на високо{11}}стандартни полупроводникови графитни продукти продължава да расте и техническият праг на индустрията също непрекъснато се подобрява.
Според различните връзки в производството на полупроводници, полупроводниковите графитни продукти се разделят на три основни категории: графитни компоненти за термично поле за растеж на пластини, графитни части за пещ за отгряване на полупроводници и графитни приспособления за опаковане на чипове и тестване. Всяка категория има независими технически стандарти и трудности при обработката, образувайки диференцирана система от високо-продукти.
Графитните компоненти с термично поле за растеж на пластини се използват в пещи за растеж на монокристални силициеви пластини и полупроводникови пластини с широка{0}}обхват, включително графитни нагреватели, топлоизолационни системи, опорни части на тигели и проводими компоненти. Този тип продукт изисква ултра-висока чистота с общо съдържание на примеси под 5ppm, а металните летливи примеси са почти нулеви. При висока-температурна среда за отглеждане на вафли над 1500 градуса не може да се генерира замърсяване с вреден газ или частици, за да се гарантира чистота на атомно-ниво на средата за отглеждане на вафли. В същото време компонентите на термичното поле трябва да имат ултра-равномерна топлопроводимост и термична стабилност, за да осигурят постоянно качество на растеж на пластините и да избегнат деформацията на пластините и дефектите на решетката, причинени от температурни колебания.
Графитните компоненти на полупроводниковата пещ за отгряване се използват главно за отгряване чрез йонна имплантация на вафли, модификация на повърхността и лечение за облекчаване на напрежението. Такива графитни части трябва да работят стабилно в среда с висок-вакуум и инертен газ с висока-чистота за дълго време, което изисква ултра-ниска скорост на отделяне на газове. Утаяването на следи от газ вътре в графита ще замърси вакуумната среда и ще повлияе на точността на отгряване на пластините. Поради това графитните компоненти на пещта за отгряване трябва да преминат специално високо{6}}температурно вакуумно обезгазяване, за да се елиминират вътрешните адсорбирани газове и летливи примеси, като се гарантира, че обемът на отделяне на газове се контролира в рамките на стандартния диапазон на полупроводниковата индустрия.
Графитните приспособления за опаковане и тестване на чипове са прецизни функционални компоненти, използвани за рязане на вафли, лагери за опаковане и тестване на електрически характеристики. Този тип продукти имат изключително високи изисквания за прецизност на размерите, плоскост и покритие на повърхността. Приспособлението трябва да пасва идеално на малкия размер на пластината с чип, с толеранс на обработка, контролиран в рамките на ±0,003 mm, а повърхността е ултра-гладка без грапавини и микро-издатини, като се избягва повреда от надраскване на повърхността на пластината. В същото време приспособлението трябва да има стабилна анти{6}}статична производителност, за да предотврати разрушаването на веригите на чипа от статично електричество.
Основната технология за обработка на полупроводникови графитни продукти се състои в свръх-високо пречистване и ултра-чисто прецизно производство. За разлика от обикновената обработка на графит, производството на полупроводников графит трябва да се извършва в цех за пречистване без-прах от клас 1000 или по-висок. Цялото оборудване за обработка е специално персонализирано, за да се избегне замърсяването с метални частици, генерирано от триенето на оборудването. Суровините трябва да бъдат подложени на много-етапно високотемпературно-халогенно пречистване и обработка с вакуумна дегазация за отстраняване на следи от примеси и адсорбирани газове, постигайки полупроводников-клас ултра{10}}стандарти.
Фабрика за абразивни и графитни форми Huixian Jinchengотдавна се занимава с персонализирано производство на полупроводникови-клас ултра-високо-графитни продукти и е изградил пълен набор от професионални системи за производство и тестване на полупроводников графит в съответствие с международните стандарти за производство на чипове. Компанията избира ексклузивно вносни полупроводникови специални ултра-финозърнести изостатични графитни заготовки и използва четири-степенно високо{6}}температурно дълбоко пречистване и много-цикличен процес на вакуумна дегазация, за да контролира стабилно общото съдържание на примеси в крайните продукти под 5ppm и ултра-ниската скорост на отделяне на газове, отговаряйки напълно на ултра{10}}изисквания за чисто производство на полупроводникови пластини.
По отношение на прецизната обработка, Jincheng Graphite завършва всички процедури за обработка в професионален цех за-пречистване без прах и използва специални не-метални инструменти за обработка, за да избегне замърсяването с метали. Оборудвана с ултра-прецизна CNC обработка и нано-полиращо оборудване, компанията може да реализира ултра{6}}прецизно производство на микронно-ниво на полупроводникови термични полеви компоненти и части за закрепване, с плоскост и толеранс на размерите на крайните продукти, напълно съвместими с международните стандарти за полупроводниково оборудване. Саморазработената от компанията-технология за анти-антистатично повърхностно третиране може ефективно да подобри статичната устойчивост на графитните приспособления и да предпази пластините от чипове от статично увреждане.
Понастоящем полупроводниковите графитни-продукти на Jincheng Graphite обхващат пълна-серия компоненти за термично поле на пластини, графитни части в пещ за отгряване и приспособления за тестване на опаковки, които са широко съвпадащи с основното глобално оборудване за производство на полупроводникови пластини. Продуктите се изнасят в много бази за производство на полупроводници в Азия, Европа и Северна Америка, осигурявайки поддръжка на ултра-висока-чистота и ултра-прецизна основна материя за глобално производство на чипове и промишлено надграждане на широколентови полупроводници.
С непрекъснатото развитие на усъвършенстваната технология за производство на полупроводници, стандартите за чистота и прецизност на полупроводниковите графитни продукти ще бъдат допълнително подобрени. Jincheng Graphite ще продължи да надгражда технологията за пречистване и ултра{1}}чистата система за обработка, непрекъснато да оптимизира производителността на полупроводниковите графитни продукти и да помага на глобалната полупроводникова индустрия да постигне високо-качествено итеративно развитие.
